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罗茨泵机组的操作顺序

 

罗茨泵机组的操作顺序:
 
 
(2)机组中有旁通阀时,如图5所示,先启动水环泵,接着开动罗茨泵,此时,罗茨泵进排气压差较大,旁通阀自动开启,被抽容器中的气体一部分经过旁通阀进入水环泵,另一部分在罗茨泵的作用下通过该泵也进入水环泵,显然抽气速率增加,这样很快达到罗茨泵的预真空,进排气压差较小,阀门自动关闭(或人工关闭),机组正式工作。这种方法能大大缩短预抽时间,但设备较复杂。
 
机组的性能与罗茨泵的性能密切相关,而罗茨泵的性能又随前泵的不同而有所不同。
 
 
受到出口压力与进口压力之比的影响,亦即若增加前泵的抽气速率,那么罗茨泵的抽气速率也会增大。
 
时,其机组的性能曲线有本质的差异。由此可见,前泵对机组性能有相当大的影响。
 
(4)水环泵的选择
 
所谓水环泵就是用水作为液环的液环泵,用水作液环有很多优点,如价廉、易得、不会污染环境等。但也有一个很大缺点,由于水的饱和蒸汽压高,使得水环泵的吸入压力也高。这时如改用饱和蒸汽压低的液体作为液环,则可提高泵的限真空度。如果某机组中罗茨泵大允许的排气压力为10torr,则用水作液环时还须加大气泵才能作为该罗茨泵的前泵,若改用矿物油作液环则不加大气泵即可作为前泵,这样可以简化装置。
 
(5)机组性能与罗茨泵允许排出压力
 
机组的性能在很大程度上取决于罗茨泵的允许排出压力。这种允许值越低,水环泵作为前泵的可能性就越小。如果罗茨泵这种允许值为1~10torr,而不论单、多的水环泵限压力大大高于这个数值,因此就不可能单独与这种罗茨泵组合使用,而需要加二大气泵。如果罗茨泵排出压力允许值在100torr以上,则前的水环泵也可以作为罗茨泵的前泵的前泵,这就大大地扩充了前泵的应用范围。
 
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